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当然,除了以上方法可以判断传感器好坏之外,我们还可以使用诊断仪读取进气压力传感器的静态数据流,若是读取的数据值和当地的大气压力一致,则代表没有问题。如果没有诊断仪这样的设备,我们还可以使用真空表进行判断,只需要将真空表接在进气歧。
FISO 的压力传感器是 F-P 标准腔的灵活运用。如下所示,将可变形的薄膜装在真空腔上,形成一个小的鼓型结构。鼓的底部和柔性膜的内表面构成 F-P 传感腔。施加压力时,薄膜会向鼓底部凹陷,从而减少腔的长度。在厂内对传感器进行 NIST。
在高压差下的环境下，泵体可以持续工作，因为经压缩加热的气体在高压侧被冷却，并部分返回到吸入腔中。结合了气体冷却器的良好工艺适应性能，真空泵可以实现满足大气压力的应用。Okta 1500 G，气冷罗茨泵，无电机，DN 160 ISO-F 订单。
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