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在传感器的结构设计中,利用电路板将壳体内部的空间分隔为两个部分,不锈钢膜片1和电路板4之间的空间是硅油灌注空间,为减少硅油灌充量,在此空间安放了陶瓷环片5,同时采用先焊接不锈钢膜片后灌充硅油的工艺,将电路板和陶瓷环片放入壳体中,。
其原理是被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,并依靠电子线路检测到变化,迅速转换、输出相应的标准测量信号。 扩散硅压力传感器的一个显著优点是信号输出大,为后端变送调。
由于芯片对所处环境的要求比较特殊,所以与硅芯片接触的硅油需要具备以下特点:良好的介电性能、尽可能小的热胀系数、化学稳定性好以及耐热和耐寒性能好。硅油的净化处理是薄膜隔离式压力传感器封装中至关重要的工艺步骤,因为若净化不干净,硅。
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