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智能电子产品芯方案
MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。 MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处,组成惠斯顿。
传感器技术与通信技术、计算机技术并称现代信息产业的三大支柱,是当代科学技术发展的 重要标志之一。21 世纪以来,传感器逐渐由传统型向智能型方向发展,传感器市场也日益繁 荣。根据赛迪顾问数据,2020 年,全球传感器市场规模达到 1606.3 亿。
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