2.png)
柏林Fraunhofer IZM的研究人员开发了一种压力传感器,该传感器使用碳化硅 (SiC) 可在高达 600°C 的温度下工作。该传感器最初旨在微调喷气涡轮机的燃烧过程,以减少飞机和 柏林Fraunhofer IZM的研究人员开发了一种压力传感器,该传感器使用。
中科院电子所(现为中科院空天院)自1997年开始率先在国内开展谐振式MEMS压力传感器研究,先后研制出“电热激励/压阻检测”、“电磁激励/磁感应检测”、“静电激励/电容检测”三种谐振式压力传感器,突破了传感器结构设计、MEMS加工工艺、晶圆级。
.png)
